[LED EXPO&OLED EXPO 2011] K1ソルーション、薄膜成長率の測定センサー「EpiCurveTT AR」
[ Sena Moon 2011-06-25 ]  
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K1ソルーション(www.k1solution.com)が6月21日から24日までKINTEXで開かれた「LED EXPO&OLED EXPO 2011(www.ledexpo.com)」に参加し、薄膜成長率測定センサー「EpiCurveTT AR」を紹介した。

EpiCurveTT ARは、MOCVD工程のリアルタイム温度、薄膜成長率、ウェイパーBowing測定センサーだ。LED Chipを製作するためにはSapphireウェイパーの上に薄膜(Thin Film)を載せる工程が必要になり、その時MOCVD装備を使用することになる。

一方、K1ソルーションはドイツLAYTEC社の韓国代理店で、LEDセk作MOCVD装備の工程コントロールのための測定センサーを製作している。

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